专利详情

专利名称	具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器
申请号	CN201621119950.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206282868U	公开（授权）日	2017.06.27
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	刘福浩;杨晓阳;贾嘉;蒋科;罗毅;刘诗嘉;孙晓宇;李向阳
主分类号	H01L31/09(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/09(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I
专利有效期	具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器至具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括：蓝宝石衬底；在衬底上制作矩形敏感元和补偿元，补偿元在敏感元任一侧，敏感元剖面呈倒凹形，与衬底之间有空气夹层，补偿元直接制作在衬底上；敏感元与补偿元矩形短边的内外两侧各制作电极端；敏感元与补偿元之间临近的电极连通形成公共电极，作为信号引出端。该结构使得热敏探测器的响应率大大提高；“亮”补偿元的设计不仅满足了对环境温度波动的补偿，而且有效降低了工艺制作难度。