专利详情

专利名称	一种半导体仪器净化装置
申请号	CN201620989882.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206334490U	公开（授权）日	2017.07.18
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超
主分类号	B01D53/00(2006.01)I	IPC主分类号	B01D53/00(2006.01)I
专利有效期	一种半导体仪器净化装置至一种半导体仪器净化装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体仪器净化装置，该装置包括：进气单元、密封箱及排气单元。进气单元与密封箱相连，进气单元向密封箱输入气体；半导体仪器的运动系统设置在密封箱内，半导体仪器的运动系统与半导体仪器的采集系统连接；密封箱与排气单元相连，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出。本实用新型提供的半导体仪器净化装置，进气单元向密封箱输入气体，半导体仪器的运动系统设置在所述密封箱内，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出；在密封箱内部建立了空气单向循环系统，使机械运动元件摩擦产生的颗粒会快速被排出，且不会扩散至半导体芯片附近，防止污染半导体芯片。