一种深紫外光学系统共焦对准装置
- 申请号：CN201621385190.4
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号：CN206363009U
- 公开(公开)日：2017.07.28
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种深紫外光学系统共焦对准装置 | ||
| 申请号 | CN201621385190.4 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN206363009U | 公开（授权）日 | 2017.07.28 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾 |
| 主分类号 | G02B27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/00(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种深紫外光学系统共焦对准装置 至一种深紫外光学系统共焦对准装置 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克 哈特曼波前传感器(7)。本实用新型基于该装置的结构，进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，实现快速、高精度的共焦对准。 | ||
交易流程
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