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透射光学元件疵病测试装置

  • 申请号:CN201621366808.2
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN206362722U
  • 公开(公开)日:2017.07.28
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 透射光学元件疵病测试装置
申请号 CN201621366808.2 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN206362722U 公开(授权)日 2017.07.28
申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 陈永权;段亚轩;赵建科;李坤;聂申;宋琦
主分类号 G01N21/958(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/958(2006.01)I
专利有效期 透射光学元件疵病测试装置 至透射光学元件疵病测试装置 法律状态
说明书摘要 为了解决传统测试方法耗时耗力、对光学元件内部的疵病测量受限的弊端,本实用新型提供了一种透射光学元件疵病的测试装置,其中装置包括激光器、准直镜、定焦镜头、CCD、移动机构和采集控制计算机;所述准直镜设置在激光器的输出光路上;所述定焦镜头和CCD刚性连接组成成像系统,成像系统的监视面通过定焦镜头和CCD感光面成共轭关系;所述成像系统固定在移动机构上;所述移动机构与采集控制计算机相连。

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