专利详情

专利名称	一种非球面检测光路中光学间隔测量系统
申请号	CN201621409783.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206362310U	公开（授权）日	2017.07.28
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	付西红;李华;马娜娜;刘杰;宋冲;李硕
主分类号	G01B11/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	一种非球面检测光路中光学间隔测量系统至一种非球面检测光路中光学间隔测量系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种非球面检测光路中光学间隔测量系统，属于非球面检测领域，该系统包括沿光路依次设置的镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器、被测非球面镜、五维调整架二、五维调整架三、五维调整架四和五维调整架五；所述镜面定位仪放置在五维调整架五上，所述十字分化板放置在五维调整架四上，所述Offner补偿器放置在五维调整架二上，所述被测非球面镜放置在五维调整架三上；所述镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器和被测非球面镜组成的光路与被测非球面镜的最佳面形检测光路共光轴；所述镜面定位仪与十字分化板之间的距离大于镜面定位仪的工作距；所述镜面定位仪和PC机连接。本实用新型测量精度约为0.05mm，检测精度高，非接触式测量。