专利详情

专利名称	一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪
申请号	CN201720045882.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206410784U	公开（授权）日	2017.08.15
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李钦明;杨家岳;丁洪利;陶凯;张未卿;杨学明
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I
专利有效期	一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪至一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪，包括真空腔体(1)、金属光强衰减装置(2)、光电二极管基座(3)、光电二极管(4)、真空引线装置(5)、直流稳压电源(6)、测量电路单元(7)和示波器(8)，金属光强衰减装置置于光电二极管之前，光电二极管安装在光电二极管基座上，金属光强衰减装置、光电二极管基座和光电二极管置于真空腔体中；用真空引线装置把光电二极管两个引脚信号引出真空腔体外；两个引脚信号接入测量电路单元信号输入端，直流稳压电源输出接入测量电路单元直流输入端，测量电路单元的信号输出端接一示波器。本实用新型通过改变金属光强衰减装置档位和偏压大小，绝对测量纳焦至毫焦级脉冲真空紫外光强度。