专利详情

专利名称	大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源
申请号	CN201621416832.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206432236U	公开（授权）日	2017.08.22
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	汤洁;段忆翔;赵卫;王屹山;李静;张同意;王静
主分类号	H01J49/10(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/10(2006.01)I;H01J49/20(2006.01)I
专利有效期	大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源至大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源	法律状态
说明书摘要	本实用新型提出一种大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，更大程度地提高了该类型离子源的电离效率、离子传输效率，以及工作的稳定性。该大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平行相对的长方体永久磁体，磁场B1覆盖直流放电区域，磁场B1方向与直流放电区域的电流J垂直，且J×B1沿气体流动方向；沿腔体轴向同轴依次设置有两个同规格的环形永久磁体，使得两个环形永久磁体形成匀强磁场B2覆盖直流放电区域以及出气端口下游的等离子体射流区域，匀强磁场B2方向与腔体以及环形永久磁体的轴向一致。