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一种高精度的压力控制装置

  • 申请号:CN201720100071.8
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
  • 公开(公开)号:CN206451051U
  • 公开(公开)日:2017.08.29
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 一种高精度的压力控制装置
申请号 CN201720100071.8 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN206451051U 公开(授权)日 2017.08.29
申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 高波;罗二仓;张海洋;林鹏;陈燕燕
主分类号 G05D16/18(2006.01)I IPC主分类号 G05D16/18(2006.01)I
专利有效期 一种高精度的压力控制装置 至一种高精度的压力控制装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型公开了一种高精度的压力控制装置,其包括:气瓶,其包括有高纯度的工作气体;至少一个腔体,所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接,所述至少一个腔体的出气管连接到压力计,所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。本实用新型结构简单、控压精度高,其解决了绝对压力测量过程中活塞压力计内部泄气导致测压周期短、连续波动大和测压管路存在“死空间”等问题。

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