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温度传感器芯片的测试校准系统

  • 申请号:CN201720048505.4
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN206496853U
  • 公开(公开)日:2017.09.15
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 温度传感器芯片的测试校准系统
申请号 CN201720048505.4 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN206496853U 公开(授权)日 2017.09.15
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 王彦虎;李文昌
主分类号 G01K15/00(2006.01)I IPC主分类号 G01K15/00(2006.01)I
专利有效期 温度传感器芯片的测试校准系统 至温度传感器芯片的测试校准系统 法律状态
说明书摘要 本实用新型提供了一种温度传感器芯片的测试校准系统。所述系统包含:温度测试校准组件;与温度测试校准组件电性连接的控制模块,用于监控、调整所述立体器件内部的温度,和测试校准温度传感器芯片。此外,所述温度测试校准组件包括:立体器件,所述立体器件包括至少一个对立体器件划分得到的立体单元,所述立体单元的温度均匀度小于所述温度传感器芯片的温度精度的2倍;所述立体单元的几何中心配置为温度传感器芯片;温度测量器件,置于所述立体单元的各顶点。

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