专利详情

专利名称	一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片
申请号	CN201610538955.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106019426A	公开（授权）日	2016.10.12
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	于天燕;成效春;蒋林;刘定权
主分类号	G02B1/115(2015.01)I	IPC主分类号	G02B1/115(2015.01)I
专利有效期	一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片至一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，该保护片以Ta₂O₅和SiO₂为高低折射率材料，入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层，获得满足要求的设计结果；背面设计了宽光谱减反射膜，以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480?700nm波段的中性分光，同时对400?440nm、800?1100nm的宽光谱波段实现高透射。本发明VNIR狭缝保护片性能稳定，适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。