专利详情

专利名称	一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计
申请号	CN201610569046.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106006541A	公开（授权）日	2016.10.12
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	杨俊;魏兴战;汤林龙;申钧;周大华;冯双龙;史浩飞;杜春雷
主分类号	B81B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I
专利有效期	一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计至一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种多孔碳纳米薄膜及其微测辐射热计，碳纳米薄膜中sp²杂化状态的碳含量高于75％，薄膜的孔隙半径为30nm～500nm，孔隙率为30％～70％，多孔碳纳米薄膜的厚度为30nm～3000nm。采用两步刻蚀的方法制备：在溅射沉积碳纳米薄膜过程中通入氧气进行选择性刻蚀，形成孔隙结构；进而，引入超薄金属掩蔽，在氧气刻蚀气氛中进行二次刻蚀，最终形成具有较好孔隙率的多孔碳纳米薄膜；该多孔碳纳米薄膜可以应用于微测辐射热计中，作为红外吸收增强材料或者单独作为红外吸收层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，工艺兼容，有优异的非制冷红外探测性能。