专利详情

专利名称	一种用于红外光谱的衬底
申请号	CN201610605777.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106206776A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	胡海;胡德波;刘瑞娜;白冰;杨晓霞;戴庆
主分类号	H01L31/0236(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0236(2006.01)I
专利有效期	一种用于红外光谱的衬底至一种用于红外光谱的衬底	法律状态	著录事项变更
说明书摘要	本发明提供了一种用于红外光谱的衬底，这种衬底的结构包括窗口层和支撑基底，窗口层位于支撑基底之上，选用单原子至1000个原子层厚度的二维材料；支撑基底的横向切面形状为圆形、椭圆形、三角形、正方形、矩形、五角形结构、正六边形、八角形，所述支撑基底的几何尺寸为500μm?5cm，厚度为1μm?5cm；支撑基底其上设置有若干通孔结构，通孔以阵列形式排布，通孔阵列的中心与基底的几何中心基本保持一致，通孔之间的间距为1μm?4cm；所述通孔对应的窗口层部位形成悬空的窗口层；其中所述二维材料选自石墨烯，二硫化钼，氮化硼，MX₂，黑磷。