专利详情

专利名称	一种拉丝模具内孔制备金刚石涂层的装置
申请号	CN201720240029.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206545041U	公开（授权）日	2017.10.10
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;张松全;王陶
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种拉丝模具内孔制备金刚石涂层的装置至一种拉丝模具内孔制备金刚石涂层的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供了一种拉丝模内孔制备金刚石涂层的装置，包括真空腔室及样品台、热丝、导流器和多个具有模孔的拉丝模具，样品台包括相对设置的第一端和第二端，拉丝模具间隔卡设在样品台的第一端上，样品台的第二端设有与模孔连通的通孔；样品台上方水平设置有两端连接电极柱的热丝；还包括插入真空腔室内的进气管和排气管，排气管与泵相连；导流器的腔体具有相对设置的第一端和径向尺寸大于第一端的第二端；第一端与进气管相连通，第二端上设有多个与腔体连通的分流管；分流管的出口位于模孔的正上方。采用该装置能避免将热丝穿过模具内孔，将沉积涂层用的反应气体在热丝周围产生的等离子团定向引至拉丝模具的模孔内，实现金刚石涂层的均匀沉积。