光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法
- 申请号：CN201510325941.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN106324996A
- 公开(公开)日：2017.01.11
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 | ||
| 申请号 | CN201510325941.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106324996A | 公开（授权）日 | 2017.01.11 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;李杰;王向朝;冯鹏;徐世福;卢云君 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 至光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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