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一种双通道宽光谱探测器及其制备方法

  • 申请号:CN201610518156.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN105957918A
  • 公开(公开)日:2016.09.21
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种双通道宽光谱探测器及其制备方法
申请号 CN201610518156.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105957918A 公开(授权)日 2016.09.21
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 韩玺;徐应强;王国伟;向伟;郝宏玥;牛智川
主分类号 H01L31/11(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 一种双通道宽光谱探测器及其制备方法 至一种双通道宽光谱探测器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种双通道宽光谱探测器及其制备方法,该双通道宽光谱探测器包括衬底和台体结构,所述台体结构包括依次层叠于衬底上的下电极接触层、第一吸收层、中电极接触层、隔离层、第二吸收层、上电极接触层,其中,在上电极接触层顶部形成上台面,在中电极接触层形成有中台面,在下电极接触层形成有下台面,上电极、中电极和底电极,分别设置于上台面、中台面和下台面上,分别与上电极接触层、中电极接触层上电极接触层电连接,该双通道宽光谱探测器可以用于宽光谱探测。

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