专利详情

专利名称	等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置
申请号	CN201610623985.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106252191A	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王旭;薛栋林;张学军;刘泉;郑立功
主分类号	H01J37/32(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/32(2006.01)I
专利有效期	等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置至等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频电源和匹配器为感应线圈供电，高压特斯拉点火线圈由外部电源进行供电；喷嘴与ICP发生装置中等离子体矩管的前端为可拆卸的固定连接，通过更换不同内径的喷嘴来实现对去除函数的尺寸进行调节。采用本发明的ICP发生装置对光学元件加工能获得理想尺寸的去除函数，实现全频段面形误差收敛。