一种用于极紫外光刻机的动态气体锁
- 申请号：CN201610391179.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号：CN106094444A
- 公开(公开)日：2016.11.09
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁 | ||
| 申请号 | CN201610391179.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106094444A | 公开（授权）日 | 2016.11.09 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 陈进新;崔惠绒;张立佳;谢婉露;吴晓斌;王宇 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁 至一种用于极紫外光刻机的动态气体锁 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种动态气体锁，特别适用于极紫外光刻机。动态气体锁的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道侧面的隔板内有内气流通道，清洁气体由充气装置进入，通过内、外气流通道分别流入两个腔室。本发明能有效地隔离极紫外光刻机中超清洁真空环境和清洁真空环境，抑制污染气体分子由清洁真空环境向超清洁真空环境扩散。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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