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一种抛光机用调速调压压头

  • 申请号:CN201410754055.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
  • 公开(公开)号:CN105729269A
  • 公开(公开)日:2016.07.06
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种抛光机用调速调压压头
申请号 CN201410754055.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105729269A 公开(授权)日 2016.07.06
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 贾勇;刘顺福;张杰;李刚;孙龙
主分类号 B24B13/00(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/00(2006.01)I
专利有效期 一种抛光机用调速调压压头 至一种抛光机用调速调压压头 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种新型的抛光机用调压调速压头。从抛光过程的自转转速和抛光压力两方面考量,设计了一种调压调速压头,实现了抛光过程的压力和转速可调,并对机床振动有一定的缓冲效果。该压头可以方便的利用一个转接头安装在现有抛光机上工作,将不可控的工件自转转化为一个可以自由调节的工艺参数,并能实现对抛光压力的自由调节。该发明有利于摸索光学抛光过程的规律参数,有助于开展确定性抛光工作;并能有效改善抛光去除率函数曲线,对抛光的精度和效率有显著贡献。

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