专利详情

专利名称	双光源联用激光束抛光装置
申请号	CN201610170163.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105772947A	公开（授权）日	2016.07.20
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	邵建达;贺婷;魏朝阳;廖洋;徐学科
主分类号	B23K26/354(2014.01)I	IPC主分类号	B23K26/354(2014.01)I;B23K26/14(2014.01)I;B23K26/064(2014.01)I;B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/082(2014.01)I;B23K26/073(2006.01)I
专利有效期	双光源联用激光束抛光装置至双光源联用激光束抛光装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种双光源联用激光束抛光装置，包括脉冲或连续CO₂激光光源及能量控制系统、飞秒激光光源及能量控制系统、CO₂激光光束整形系统、飞秒激光光束整形系统、自动聚焦系统、振镜扫描系统、温控和四维平台联动系统。本发明是基于激光与物质相互作用机理和自动化控制技术，利用飞秒激光高精度烧蚀和修形，结合CO₂激光熔融抛光光学元件的抛光装置。本发明可广泛应用于各种面形的光学元件，如平面、球面、非球面等，及强光光学元件抛光。