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半导体器件

  • 申请号:CN201410812116.5
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN105789368A
  • 公开(公开)日:2016.07.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 半导体器件
申请号 CN201410812116.5 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105789368A 公开(授权)日 2016.07.20
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 殷华湘;贾云丛;袁烽;陈大鹏
主分类号 H01L31/115(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/115(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I
专利有效期 半导体器件 至半导体器件 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供了一种半导体X线探测器及其制造方法,将PIN接触层过孔之于像素单元的侧边,可以减少铟柱(包括UBM粘附层)封装工艺对PIN二极管器件电学特性的影响,避免金属钉刺现象,减少漏电流;同时,侧边接触结构可以降低PIN接触层过孔对后继的铟柱成球工艺的不利影响;另外,侧边接触减小了金属接触面积,从而降低了金属漏电。

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