专利详情

专利名称	一种气体自动控制系统及控制方法
申请号	CN201610480271.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105912057A	公开（授权）日	2016.08.31
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	孙艳;余平;陈鑫;戴宁
主分类号	G05D27/02(2006.01)I	IPC主分类号	G05D27/02(2006.01)I
专利有效期	一种气体自动控制系统及控制方法至一种气体自动控制系统及控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种气体自动控制系统及其控制方法，包括单向止回阀、质量流量计、三向阀、排气阀、电阻加热丝、热电偶、温度模块、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器、PLC控制模块、电源模块；本发明对气路管道进行了合理的设计，对气体的压力及质量流量可以达到非常高的精度控制，并且可以对气体进行加热；同时本气体控制管道集成了多种功能，使得采集的数据不但可以上传到电脑，还可以提供给多种设备进行分析使用，提高数据的利用率，设计简单，适合推广使用。