专利详情

专利名称	一种新型高精度MEMS加速度计
申请号	CN201610105866.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105759077A	公开（授权）日	2016.07.13
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	薛旭;杨长春;李宗伟;熊兴崟;韩可都;丛宁
主分类号	G01P15/125(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/125(2006.01)I
专利有效期	一种新型高精度MEMS加速度计至一种新型高精度MEMS加速度计	法律状态	著录事项变更
说明书摘要	本发明涉及一种加速度计，具体涉及一种MEMS加速度计，具体为将高速的数字量化单元嵌入到MEMS加速度计的sigma?delta全闭环电路中，并通过信号估计与处理，实现了由低位量化器组成的MEMS全闭环sigma?delta系统达到了全数字闭环和高位数字量化输出。通过本发明的信号处理算法、系统稳定性设计，实现反馈静电力量化的同时，实现了数字反馈。同时采用数字方式实现环路滤波器，能够避免模拟环路滤波器产生的积分饱和现象，同时降低版图设计难度以及模拟环路滤波器的噪声对系统影响，有效地提高了MEMS加速度计的性能。