专利详情

专利名称	光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
申请号	CN201510237227.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106324995A	公开（授权）日	2017.01.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李杰;唐锋;王向朝;吴飞斌;张国先;郭福东
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法至光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法	法律状态	授权
说明书摘要	一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台。利用该装置实时原位检测光刻机投影物镜的波像差，提高了波像差检测速度和空间分辨率。