专利详情

专利名称	磁性封装微机器人及其制备方法
申请号	CN201610973129.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106517081A	公开（授权）日	2017.03.22
申请（专利权）人	中国科学院深圳先进技术研究院	发明（设计）人	李晖;陈静;张南南;王磊
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I
专利有效期	磁性封装微机器人及其制备方法至磁性封装微机器人及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法，包括：提供硅片，在硅片上制备Omnicoat牺牲层；在Omnicoat牺牲层上旋涂SU?8光刻胶形成SU?8基层；得到第一预制层结构；进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；在SU?8基层上涂覆磁性复合材料，进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作,去离子水清洗，风干；涂覆SU?8光刻胶；进行烘烤；图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作，去离子水清洗，风干；得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。