专利详情

专利名称	一种硅片传输手动机械手
申请号	CN201610548948.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106181954A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	杜婧;胡松;刘俊伯;周毅;邓钦元;邓茜
主分类号	B25J1/12(2006.01)I	IPC主分类号	B25J1/12(2006.01)I
专利有效期	一种硅片传输手动机械手至一种硅片传输手动机械手	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种硅片传输手动机械手，包括机械手座、升降旋转机构、取放片机构；机械手座为整个机械手的基座；升降旋转机构通过内部特殊结构，实现机械手的升降和旋转运动，其通过机械臂中轴与机械手座连接，机械臂中轴可在机械手座上调节安装高度，并且通过顶丝锁紧；取放片机构固定在机械手升降旋转机构上，其机械臂内部开通长孔，通过调节通气杆可实现机械臂取放片台真空的得失，从而实现硅片的取片与放片；升降旋转机构中的限位筒可对取片与放片的位置进行限位；该发明可与光刻机及硅片预对准台配合使用，具有成本低、操作方便及效率高的优点。