专利详情

专利名称	激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法
申请号	CN201610221179.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105806479A	公开（授权）日	2016.07.27
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	段亚轩;李晶;陈永权;赵建科;刘尚阔;田留德;李坤;王涛;薛勋;赵怀学;潘亮
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法至激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种的激光远场焦斑高精度动态诊断装置及方法，旨在解决现有技术分辨率低、误差大的弊端。本发明包括依次设置在同一光路上的单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件、CCD探测器；还包括设置在分束镜反射光路上的参考积分球功率计，设置在反射镜反射光路上的测量积分球功率计，以及同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联的控制计算机。本发明可实现对不同口径大小的激光光束的远场焦斑诊断，具有精度高、测量结果置信度高、稳定性好的优点。