专利详情

专利名称	大口径掠入射反射聚焦镜高精度面形检测方法
申请号	CN201710000709.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106813594A	公开（授权）日	2017.06.09
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘世杰;张志刚;邵建达;马啸;周游;王圣浩;白云波;齐红基
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	大口径掠入射反射聚焦镜高精度面形检测方法至大口径掠入射反射聚焦镜高精度面形检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径掠入射反射聚焦镜高精度面形检测方法，测量工具包括激光平面干涉仪、扩束准直系统、平面透射标准镜、精密旋转平台和计算机处理系统。该方法通过对激光平面干涉仪进行扩束准直得到大口径平行检测光束，并与精密旋转平台组成子口径拼接检测系统，实现大口径掠入射反射聚焦镜三维面形测量，降低了机械系统难度，提高了子口径定位精度，从而保障了面形拼接检测精度。