专利详情

专利名称	一种基于白光干涉信息匹配的多层膜绝对间隙测量装置及方法
申请号	CN201711329868.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108121172A	公开（授权）日	2018.06.05
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;刘明刚;马晓亮;高平;蒲明博
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	一种基于白光干涉信息匹配的多层膜绝对间隙测量装置及方法至一种基于白光干涉信息匹配的多层膜绝对间隙测量装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于白光干涉信号匹配的多层膜绝对间隙测量装置与方法，利用由工件台、真空吸附装置、基片、待测掩模、半透半反镜组、白光光源、准直透镜、光谱仪、光纤、光纤耦合单元和计算机组成的装置。利用白光光源的干涉特性，计算机从光谱仪获得干涉光强分布信息，并对光强信息进行数字信号处理。利用RCWA方法求解多层膜结构的白光干涉光强分布，并建立干涉光强分布的数据库。计算机从数据库读取光谱数据到缓存，并逐条将缓存中的光谱与待测光谱进行比对，从而求解间隙值。本发明结构简洁，间隙检测精度高、抗干扰能力强。