专利详情

专利名称	一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法
申请号	CN201710389877.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107142503A	公开（授权）日	2017.09.08
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	刘志权;高丽茵
主分类号	C25D3/56(2006.01)I	IPC主分类号	C25D3/56(2006.01)I;C22C45/02(2006.01)I;C22C45/04(2006.01)I
专利有效期	一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法至一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法，属于电沉积技术领域。本发明以乳酸和EDTA作为络合剂，镀液其余组分为亚铁盐、镍盐、NaH₂PO₂、RECl₃、H₃BO₃及添加剂。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作为络合剂的镀液，电沉积得到Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层，该镀层中铁含量为5％?90％，镍含量为5％?90％，铁和镍含量之和为80％?92％，稀土元素的质量百分比为0?5％，余量为磷。本发明通过调试镀液温度、电流密度和pH等工艺条件，成功制备了具有优异软磁性能的Fe?Ni?P(RE)合金薄膜，应用于微电子以及半导体功能器件领域。