专利详情

专利名称	一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法
申请号	CN201610248048.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107305289A	公开（授权）日	2017.10.31
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	赵永生;李勇军;闫永丽
主分类号	G02B27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法至一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种用于微区空间相干图样的光学系统，该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；双缝、第一双缝干涉成像透镜、第二全反镜、成像透镜和第二双缝干涉成像透镜为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。本发明还提出了该系统的工作方法。该系统和方法能通过干涉图样的采集来测量微纳尺度下的光源的空间相干性以及相干面积，弥补现有光学显微系统的不足。