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一种紫外探测器及其制作方法

  • 申请号:CN201710779849.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN107579127A
  • 公开(公开)日:2018.01.12
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种紫外探测器及其制作方法
申请号 CN201710779849.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN107579127A 公开(授权)日 2018.01.12
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陈星;刘可为;李炳辉;张振中;申德振
主分类号 H01L31/0296(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 一种紫外探测器及其制作方法 至一种紫外探测器及其制作方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种紫外探测器及其制作方法,该制作方法包括:提供一衬底;在所述衬底表面形成ZnMgO层;所述ZnMgO层的表面包括电极区域以及非电极区域;在所述电极区域形成电极,所述电极表面具有In粒;对所述非电极区域进行氟修饰处理,使得所述非电极区域具有含氟的官能团;其中,所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。本发明技术方案可以同时优化紫外探测器的响应度、暗电流以及响应时间这三个特性。

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