专利详情

专利名称	锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法
申请号	CN201711099311.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107990838A	公开（授权）日	2018.05.04
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	唐锋;卢云君;王向朝;严焱;郭福东
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法至锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。