一种铜薄膜的制备方法
- 申请号：CN201810077450.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院理化技术研究所
- 公开(公开)号：CN108220924A
- 公开(公开)日：2018.06.29
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种铜薄膜的制备方法 | ||
| 申请号 | CN201810077450.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN108220924A | 公开（授权）日 | 2018.06.29 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 崔云涛;汤剑波;王玉书;赵曦;刘静 |
| 主分类号 | C23C18/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/08(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种铜薄膜的制备方法 至一种铜薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供了一种铜薄膜的制备方法，该方法包括：以液态金属为模板，NaOH溶液为沉积液相介质，向NaOH溶液中加入含铜化合物，制备铜薄膜。本发明所制备的铜薄膜物理特性均匀、致密，厚度均匀可控，操作简单、高效便捷，可实现从纳米尺度到微米尺度厚度连续可控的柔性铜薄膜，具有较高的电导率，有较强的生产适用性，能在超大规模集成电路及微电子机械系统(MEMS)中金属布线、微流器件、生物芯片或半导体芯片表面技术等领域应用。 | ||
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