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一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法

  • 申请号:CN201911274412.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN111146089A
  • 公开(公开)日:20200512
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法
申请号 CN201911274412.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN111146089A 公开(授权)日 20200512
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 李俊杰;李永亮;周娜;王桂磊;殷华湘;杨涛;李俊峰;王文武
主分类号 H01L21/336 IPC主分类号
专利有效期 一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法 至一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法 法律状态
说明书摘要

交易流程

  • 01 选取所需
    专利
  • 02 确认专利
    可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更
    成功
  • 06 支付尾款
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